توضیحات
ترجمه آماده – لیتوگرافی
Lithography
لیتوگرافی
In order to produce an integrated circuit, thin films of various materials are used as barriers to the diffusion or implantation of impurity atoms or as insulators between conductive materials and the silicon substrate. Holes, or windows, are cut through this barrier material wherever impurity penetration or contact is desired. Masks contain the patterns of windows that are transferred to the surface of the silicon wafer using a process called photolithography, Photolithography makes use of a highly refined version of the photoengraving process. The patterns are first transferred from the mask to a light-sensitive material called photoresist. Chemical or plasma etching is then used to transfer the pattern from the photoresist to the barrier material on the surface of the wafer. Each mask step requires successful completion of numerous processing steps, and the complexity of an IC process is often measured by the number of photographic masks used during fabrication. This chapter will explore the lithographic process, including mask fabrication, photoresist processes, and etching.
بمنظور تولید مدار مجتمع، نوارهای نازک مواد مختلف به عنوان مانعی در برابر انتشار یا کاشت اتم های ناخالص یا به عنوان عایق بین مواد رسانا و ماده سیلیکون مورد استفاده قرار می گیرند. روزنه ها بواسطه این ماده مانع گسسته می شوند در هرجایی که نفوذ ناخالص یا تماس مناسب باشد. قرصها حاوی الگوی روزنه هایی هستند که به سطح قرص سیلیکون با استفاده از فرایندی بنام فوتولیتوگرافی منتقل می شوند. فوتولیتوگرافی از نسخه کاملا دقیق فرایند فوتوانگریوینگ یا زدایش نوری استفاده می کند. الگوها ابتدا از قرص به ماده حساس به نور به نام فوتورزیست منقل می شوند. زدایش شیمیایی یا پلاسما برای انتقال الگو از فوتورزیست (مقاوم در برابر نور) به ماده مانع روی سطح قرص استفاده می شود. هر مرحله پوشش نیازمند تکمیل موفق مراحل مختلف پردازش دارد و پیچیدگی فرایند IC اغلب بوسیله تعداد قرص های فوتوگرافی استفاده شده در طول ساخت اندازه گیری می شود. در این فصل فرایند لیتوگرافی یعنی ساخت قرص، فرایند فوتورزیست و زدایش را شرح خواهیم داد.
دوست عزیزم چنانچه برای دانلود ترجمه آماده – لیتوگرافی با مشکلی مواجه شدید با شماره ۰۹۳۵۷۲۵۸۴۲۵ یا ایمیل info@pajuha.ir ارتباط برقرار کنید.
ترجمه آماده -Lithograph y
دیدگاهها
هیچ دیدگاهی برای این محصول نوشته نشده است.